第806章 不配拥有名字的大CPU(求订)(第5/8页)
个瑞利公式:cd=k1x(λ/na),降低波长λ,提高镜头的数值孔径na,降低综合因素k1,即可不断演进光刻制程。
duV激光光源从9o年代末至今就一直是停滞在193nm波长;
不过有人提出了新的方案,一个工程上很简单的办法,在晶圆光刻胶上加1mm厚的水,水可以把193nm的光波长折射成134nm,再做到半周期65nm;
总之……
晶圆实验室的教授很有信心保证能在较短时间内突破至65纳米光刻,之后可能会漫长一点,但也不会是太久远的事情。”
一口气照本宣科的说完,温叶并未多停顿,继续解释。
“虽然梼杌实验室牵头的euV光刻研进展十分缓慢,但因为从欧美国家收购的各类技术等等;
对duV光刻机的研推动工作很有帮助。”
“……”
最后,温叶总结:“截止目前,就是这些项目有确切成果。”
“小谷负责的胜遇4g组网方案实际实验,还需要一点点时间,应该是在四月底能完成。”
听温叶完全说完后,方年稍作沉吟:“也就是说,梼杌一点都不重视的duV光刻进展神,去年最后一个季度投入了7o亿,今年第一季度又投入十数亿的euV进展龟?”
“也可以这么理解。”温叶无奈回答,“国内无论是梼杌还是协调的那些单位,在euV方面的积累可以称之为o。”
方年咂咂嘴:“还真是有点意外。”
接着方年看了眼温叶,话锋一转:“不过温秘,你连个照本宣科都整不明白?
实验室那台duV光刻机要硬上的话,现在就可以生产65纳米,只是在没调整镜头等硬件的情况下,良率会爆炸,无非是多重光照罢了。”
温叶:“……”
她忍不住腹诽:以为谁都跟你个大(B)佬(T)一样,什么都懂?
方年也没想要
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